On-Machine Shape Measuring System by Means of Optical Stylus for Nano-Machining
On-Machine Shape Measuring System by Means of Optical Stylus for Nano-Machining
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用于纳米加工的光学触针机上形状测量系统
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Mitsui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Sawano;M.Takahashi;H.Yoshioka;H.Shinno;K.Mitsui
