Al/Si(111)構造の平坦性および結晶性制御と偏析による極薄Si層形成
Al/Si(111)構造の平坦性および結晶性制御と偏析による極薄Si層形成
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通过控制Al/Si(111)结构的平坦度和结晶度以及偏析形成超薄Si层
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮﨑 誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
酒井 大希;大田 晃生;松下 圭吾;田岡 紀之;牧原 克典;宮﨑 誠一
