膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(2)-湿度と大気中保管の影響-
膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(2)-湿度と大気中保管の影響-
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成膜后向真空室内导入干燥气体而形成的二硫化钼溅射膜在大气中的润滑性(2) - 湿度和大气中保存的影响 -
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
兼田〓宏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
池田満昭;大林賢悟;小熊清典;松田健次;兼田〓宏
