エキシマレーザークリーニング・アニールによるサファイア基板の再生利用
エキシマレーザークリーニング・アニールによるサファイア基板の再生利用
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准分子激光清洗和退火回收蓝宝石衬底
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東畠 三洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
水谷広志;K. Srinivasa Rao;鄭富;吉村 哲;江川元太;木下幸則;齊藤 準;佐竹 聖樹;堺 三洋;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;野田 浩平;外山貴子;東畠 三洋
