Si基板の内部摩擦測定
Si基板の内部摩擦測定
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硅基片内耗测量
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
孫 勇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
立石 龍;竹下寛紀;孫 勇
