アンモニアガスによるGa_2O_3のGaNへの窒化に対する速度論的考察微細構造観察

アンモニアガスによるGa_2O_3のGaNへの窒化に対する速度論的考察微細構造観察
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氨气氮化Ga_2O_3为GaN的动力学考虑和精细结构观察

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
嶋田志郎
嶋田志郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
酒井利基;清野肇;嶋田志郎

文献摘要

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