Enhancement of Local Strain in Si Microstructure by Oxidation Induced Ge Condensation
Enhancement of Local Strain in Si Microstructure by Oxidation Induced Ge Condensation
复制标题
氧化诱导Ge凝结增强硅微观结构的局部应变
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Tanaka;et al.
