Autonomously Generating Nano-Micro Textured Ultra Flat Smooth Surfaces by Applying Molecular Beam Epitaxy with Helicon Sputtering Molecular Beam Source for Nanoimprint Die
Autonomously Generating Nano-Micro Textured Ultra Flat Smooth Surfaces by Applying Molecular Beam Epitaxy with Helicon Sputtering Molecular Beam Source for Nanoimprint Die
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通过应用分子束外延和用于纳米压印模具的螺旋溅射分子束源自主生成纳米微纹理超平坦光滑表面
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. MARUTA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. KAKUTA; S. MARUTA
