Surface Electron Emision Lithography System baed on a planar type Si nanowire array ballistic electron source
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基于平面型硅纳米线阵列弹道电子源的表面电子发射光刻系统
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Kojima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Hamada;M.Toyofuku;T.Miyano;T.Nakafjima-Kambe;H.Uchiyama;N.Nomura.;豊福雅典;Masanori Toyofuku;Masanori Toyofuku;A.Kojima
