プロトンマイクロビーム照射によるポリマーの微細加工

プロトンマイクロビーム照射によるポリマーの微細加工
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质子微束辐照聚合物的微加工

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集 論文番号9a-ZD-11 No.2
影响因子:
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通讯作者:
福田光宏
福田光宏
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
原田卓弥;打矢直之;村井将人;西川宏之;酒井卓郎;佐藤隆博;石井保行;福田光宏

文献摘要

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