Effect of Pulse Width on High Power Impulse Magnetron Sputtering for Deposition of Diamond-Like Carbon Thin Films
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复制标题
脉冲宽度对高功率脉冲磁控溅射沉积类金刚石碳薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jo Matsushima;Yuichi Murakami;Akinori Oda;Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
