S.Matsumoto: "Boron doping of silicon by ArF excimer laser irradiation in B_2H_6" Journal of Appilied Physics. 67. 7204-7210 (1990)
S.Matsumoto: "Boron doping of silicon by ArF excimer laser irradiation in B_2H_6" Journal of Appilied Physics. 67. 7204-7210 (1990)
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S.Matsumoto：“B_2H_6 中 ArF 准分子激光照射对硅的硼掺杂”《应用物理学杂志》。
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