Tunable microwave magnetic properties in oblique deposited CoHf/Ta multilayers
Tunable microwave magnetic properties in oblique deposited CoHf/Ta multilayers
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倾斜沉积 CoHf/Ta 多层膜中可调谐微波磁特性
DOI：
10.1063/1.4907998
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发表时间：
2015-02
影响因子：
3.2
通讯作者：
Xue Desheng
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chai Guozhi;Wang Xinhua;Wang Zhiling;Xue Desheng
本文研究了倾斜沉积CoHf/Ta多层膜的微波磁性能。对于不同的Ta夹层厚度t，CoHf/Ta多层膜的高频磁性能表现出不同的倾角特性，例如，当Ta夹层厚度固定为5.0 nm时，谐振频率fr从2.1 GHz增加到3.4 GHz，倾斜角θ从10°变化到30°。当Ta层厚度固定为15.0 nm时，fr从2.5 GHz降至1.7 GHz，倾斜沉积角度在相同范围内变化。Fr与θ相反的行为被认为是由于Ta缓冲层的存在，其中较厚的Ta中间层可能会阻碍CoHf磁性层的自影效应。
In this work, the microwave magnetic properties of oblique deposited CoHf/Ta multilayers were investigated. The high frequency magnetic properties of CoHf/Ta multilayers showed different behaviors with oblique angle for different Ta interlayer thickness t. For example, when the Ta interlayer thickness fixed as 5.0 nm, the resonance frequency fr increased from 2.1 to 3.4 GHz with the oblique deposition angle θ changing from 10° to 30°. However, when the Ta layer fixed as 15.0 nm, the fr decreased from 2.5 to 1.7 GHz with the oblique deposition angle changing in the same range. The opposite behavior of the fr with θ is supposed to result from the existence of the Ta buffer layer, in which the thicker Ta interlayer may hinder the self-shadow effects of the CoHf magnetic layers.
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