Masami Nakata: "“Study on chemical reactions on the growing surface to control the structure of μ c-Silicon from fluorinated precursors"" Jpn.J.Appl.Phys.33. 2562-2568 (1991)
Masami Nakata: "“Study on chemical reactions on the growing surface to control the structure of μ c-Silicon from fluorinated precursors"" Jpn.J.Appl.Phys.33. 2562-2568 (1991)
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Masami Nakata：“研究生长表面上的化学反应以控制来自氟化前体的μc-硅的结构”Jpn.J.Appl.Phys.33.2562-2568 (1991)
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