Kimura, T.and Kojima, T.: "Evaluation of the Contribution of the Grid Zone in the Production of Polycrystalline Silicon in Fluidized-bed CVD -SiH_4-Ar System" Intern.Chem.Eng.33. 273-279 (1993)
Kimura, T.and Kojima, T.: "Evaluation of the Contribution of the Grid Zone in the Production of Polycrystalline Silicon in Fluidized-bed CVD -SiH_4-Ar System" Intern.Chem.Eng.33. 273-279 (1993)
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Kimura, T. 和 Kojima, T.：“流化床 CVD -SiH_4-Ar 系统中网格区对多晶硅生产的贡献评估”Intern.Chem.Eng.33。
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