TiO_2 film formation by electron cyclotron resonance plasma oxidation
TiO_2 film formation by electron cyclotron resonance plasma oxidation
复制标题
电子回旋共振等离子体氧化制备TiO_2薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
O. Suzuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Orii;H. Masumoto;T. Goto;Y. Honda;T. Ana da;K. Sasaki;O. Suzuki
