Defect Control in Germanium Oxide Film Thermally Grown on Germanium Substrate

Defect Control in Germanium Oxide Film Thermally Grown on Germanium Substrate
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锗衬底上热生长氧化锗薄膜的缺陷控制

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Yusuke Oniki
Yusuke Oniki
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Sasazawa;Y.;Kanagaki;S.;Tashiro;E.;Nogawa;T.;Muroi;M.;Kondoh;Y.;Osada;H.;Imoto;M;Yusuke Oniki;Yusuke Oniki

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