分光エリプソメトリーを用いたAl1-xInxN混晶の光学特性解析における誘電関数モデルの検討
分光エリプソメトリーを用いたAl1-xInxN混晶の光学特性解析における誘電関数モデルの検討
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椭圆偏振光谱法分析Al1-xInxN混晶光学性质的介电函数模型研究
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
三好実人,竹内哲也
中科院分区:
文献类型:
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作者:
豊田隼大,村上裕人,宮田梨乃,今井大地,宮嶋孝夫;三好実人,竹内哲也