T.Kojima: "Size Fluctuation of 50nm Periodic GaInAsP/InP Wire Structure by Electron Beam Lithography and Wet Chemical Etching"Jpn.J.Appl.Phys.. 37・11A. 5961-5962 (1998)
T.Kojima: "Size Fluctuation of 50nm Periodic GaInAsP/InP Wire Structure by Electron Beam Lithography and Wet Chemical Etching"Jpn.J.Appl.Phys.. 37・11A. 5961-5962 (1998)
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T.Kojima：“通过电子束光刻和湿化学蚀刻的 50nm 周期性 GaInAsP/InP 线结构的尺寸波动”Jpn.J.Appl.Phys.. 37・11A 5961-5962 (1998)
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