H.Takanashi, H.Kato, A.Toukairin, T.Mayama, S.Wakui and S.Adachi: "Multivariable system identification experiments for semiconductor exposure apparatus supported by anti-vibration units using subspace method (in Japanese)"Trans. of the ISCIE. Vol.17, No.7
H.Takanashi, H.Kato, A.Toukairin, T.Mayama, S.Wakui and S.Adachi: "Multivariable system identification experiments for semiconductor exposure apparatus supported by anti-vibration units using subspace method (in Japanese)"Trans. of the ISCIE. Vol.17, No.7
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H.Takanashi、H.Kato、A.Toukairin、T.Mayama、S.Wakui 和 S.Adachi：“使用子空间方法支持抗振单元的半导体曝光装置的多变量系统识别实验（日语）”Trans。
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