マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS気流せん断応力センサ
マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS気流せん断応力センサ
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使用微柱阵列的高灵敏度 MEMS 气流剪切应力传感器
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
下山勲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋英俊;風間涼平;グェンタンヴィン;髙畑智之;松本潔;下山勲
