遷移金属窒化物薄膜の熱分解挙動と第一原理計算による解析

遷移金属窒化物薄膜の熱分解挙動と第一原理計算による解析
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过渡金属氮化物薄膜的热分解行为及第一性原理计算分析

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
犬丸 啓
犬丸 啓
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
古市音央太;宇野 智仁;犬丸 啓

文献摘要

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