局所的真空パッケージ内への蒸発型ゲッターの製作

局所的真空パッケージ内への蒸発型ゲッターの製作
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局部真空封装中蒸发吸气剂的制造

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
第66回 応用物理学会学術講演会 2
影响因子:
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通讯作者:
畠山正教 他
畠山正教 他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
D.Noda;et al.;畠山正教 他

文献摘要

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