局所的真空パッケージ内への蒸発型ゲッターの製作
局所的真空パッケージ内への蒸発型ゲッターの製作
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局部真空封装中蒸发吸气剂的制造
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
畠山正教 他
中科院分区:
文献类型:
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作者:
D.Noda;et al.;畠山正教 他