真空紫外光で拓く環境調和型プロセス -高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発とその応用技術の開発-
真空紫外光で拓く環境調和型プロセス -高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発とその応用技術の開発-
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利用真空紫外光开发的环保工艺-高亮度真空紫外相干光源的研制及其应用技术-
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
甲藤 正人;他
