Profile Simulation Model for Nanometer-Scale Control of Critical Dimensions and Etched Profiles

Profile Simulation Model for Nanometer-Scale Control of Critical Dimensions and Etched Profiles
复制标题

用于关键尺寸和蚀刻轮廓的纳米级控制的轮廓仿真模型

DOI：
--
复制
发表时间：
2002
期刊：
Proc.2nd International Symposium on Dry Process, DPS-2004, Tokyo, Japan 2002
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Setsuhara
Y.Setsuhara
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
A.Sano;K.Ono;K.Takahashi;Y.Setsuhara

文献摘要

被引文献

相似文献