表面波プラズマ励起化学気相堆積法によるシリコン酸化膜の堆積と評価(2)
表面波プラズマ励起化学気相堆積法によるシリコン酸化膜の堆積と評価(2)
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表面波等离子体增强化学气相沉积氧化硅薄膜的沉积与评价（2）
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
若原 昭浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
馬場 真人;中村 健人;岡田 浩;古川 雅一;山根 啓輔;関口 寛人;若原 昭浩
