MICROFABRICATED VANADIUM OXIDE RESONANT THERMAL SENSOR WITH A HIGH TEMPERATURE COEFFICIENT OF RESONANT FREQUENCY
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高温谐振频率系数微细氧化钒谐振热传感器
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Inomata;L. Pan;M. Toda;and T. Ono
