S.Tanimoto: "Investigation on Leakage Current Reduction of Photo-CVD Tantalum Oxide Films Accomplished by Active Oxygen Annealing" J.Electrochem.Soc.139. 320-328 (1992)
S.Tanimoto: "Investigation on Leakage Current Reduction of Photo-CVD Tantalum Oxide Films Accomplished by Active Oxygen Annealing" J.Electrochem.Soc.139. 320-328 (1992)
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S.Tanimoto：“通过活性氧退火实现光 CVD 氧化钽薄膜漏电流降低的研究”J.Electrochem.Soc.139。
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