Sensitivity Enhancement of MEMS Tactile Sensor by Redesign of Microcantilever and Strain Gauge
Sensitivity Enhancement of MEMS Tactile Sensor by Redesign of Microcantilever and Strain Gauge
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通过重新设计微悬臂梁和应变计来增强 MEMS 触觉传感器的灵敏度
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masayuki Sohgawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ren Kaneta;Takumi Hasegawa;Takashi Abe;Masayuki Sohgawa
