カンチレバー型MEMS共振器の設計
カンチレバー型MEMS共振器の設計
复制标题
悬臂MEMS谐振器设计
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石橋孝一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
日下部圭佑;井上雄策;長谷川翔一;石橋孝一郎
