MEMSに向けたNi-Nb-Zr薄膜非晶質合金製ダイアフラムの内部応力制御
MEMSに向けたNi-Nb-Zr薄膜非晶質合金製ダイアフラムの内部応力制御
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MEMS用Ni-Nb-Zr薄膜非晶合金隔膜的内应力控制
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
謝靖蘭，羽賀冬樹，山崎貴大，岡智絵美，秦誠一，櫻井淳平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miki Takao;Yamada Takayuki;Tamotsu MURAKAMI;謝靖蘭，羽賀冬樹，山崎貴大，岡智絵美，秦誠一，櫻井淳平
