Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges
Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges
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利用脉冲H_2 SiH_4 VHF放电制备晶体硅纳米团簇
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Michio Kondo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohide Kakeya;Kazunori Koga;Masaharu Shiratani;Yukio Watanabe;Michio Kondo
