量子分子動力学シミュレーションによる単結晶ダイヤモンド基板研磨プロセスの検討
量子分子動力学シミュレーションによる単結晶ダイヤモンド基板研磨プロセスの検討
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利用量子分子动力学模拟研究单晶金刚石基片抛光过程
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保百司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
河口健太郎;樋口祐次;尾澤伸樹;久保百司
