金属堆積後熱処理による低仕事関数金属/n型4H-SiC界面のSBH低減
金属堆積後熱処理による低仕事関数金属/n型4H-SiC界面のSBH低減
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通过金属沉积后的热处理减少低功函数金属/n型4H-SiC界面处的SBH
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
土井拓馬，柴山茂久，坂下満男，清水三聡，中塚理
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山城梨沙;関谷倫子;飯島浩一;4)シリセーリイパップ クリタパット，田村 光，前川知樹，多部田康一;土井拓馬，柴山茂久，坂下満男，清水三聡，中塚理
