Heavy ion implantation through nanoporous masks: an STEM/EELS study
Heavy ion implantation through nanoporous masks: an STEM/EELS study
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通过纳米孔掩模进行重离子注入：STEM/EELS 研究
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发表时间：
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期刊：
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通讯作者：
Guenter Moebus (Co-Author)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Guenter Moebus (Co-Author)
