反射型回折モアレ光による精密位置センサの開発
反射型回折モアレ光による精密位置センサの開発
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开发利用反射衍射莫尔光的精密位置传感器
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩田雅史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Tanabe;K. Okubo;N. Tagawa;T. Moriya;岩田雅史
