DESIGN AND MANUFACTURING OF A MM-WAVE ACCELERATOR USING LIGA
DESIGN AND MANUFACTURING OF A MM-WAVE ACCELERATOR USING LIGA
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使用 Liga 设计和制造毫米波加速器
DOI：
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Henke
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Peikert;R. Apel;H. Henke
本文介绍了一个平面，双周期结构的设计，并首次，它的制造深X射线光刻（LIGA），这是在BESSY，柏林，与研究所fMikro-und Medizintechnik，TU柏林。它是一个驻波轴上耦合结构，工作频率为91.392 GHz，是专为模式。端单元、主耦合器和RF参数通过代码GdfidL进行数值匹配。详细描述了用LIGA技术制作该结构的过程。
The paper presents the design of a planar, double-periodic structure and, for the first time, its fabrication by deep X- ray lithography (LIGA) which was done at BESSY, Berlin, together with the Institut fMikro- und Medizintechnik , TU Berlin. It is a standing wave on-axis coupled structure with an operating frequency of 91.392 GHz and is designed for the -mode. End cells, main coupler and RF parameters are matched numerically by means of the code GdfidL. The manufacturing of the structure with LIGA is described in detail.