単結晶SiC基板の精密研磨技術
単結晶SiC基板の精密研磨技術
复制标题
单晶SiC衬底精密抛光技术
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
安井平司
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
久保田章亀;宮本士郎;濟陽崇志;安井平司
