指標U*の静電場問題への拡張とポーラス構造を有する層間絶縁膜の構造設計への応用
指標U*の静電場問題への拡張とポーラス構造を有する層間絶縁膜の構造設計への応用
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指数U*向静电场问题的推广及其在多孔结构层间介质薄膜结构设计中的应用
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋邦弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮川隼輔;大宮正毅;高橋邦弘
