Arのマイクロ波放電フロー中でのテトラメチルシランの分解を用いた硬質a-SiC_χ膜の形成(2)局所構造解析
Arのマイクロ波放電フロー中でのテトラメチルシランの分解を用いた硬質a-SiC_χ膜の形成(2)局所構造解析
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Ar微波放电流中四甲基硅烷分解形成硬质a-SiC_χ薄膜（2）局部结构分析
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤治彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
和田晃;大柿猛;新部正人;田州雅人;齋藤秀俊;神田一浩;伊藤治彦
