Nano-scale Cu metal patterning by using an atomic force microscope
Nano-scale Cu metal patterning by using an atomic force microscope
复制标题
使用原子力显微镜进行纳米级铜金属图案化
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Kobayashi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y.Tomita;Y.Hasegawa;K.Kobayashi
