Chemical mechanical polishing of glass
Chemical mechanical polishing of glass
复制标题
玻璃化学机械抛光
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Suda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sugimoto;S. Suda;K. Kawahara;S. Suda
