Deposition of layered armorphous fluorocarbon films by C8F18 PECVD
Deposition of layered armorphous fluorocarbon films by C8F18 PECVD
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C8F18 PECVD 沉积层状铠装氟碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Sugawara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Yamauchi;(発表者);K. Mizuno;H. Sugawara
