K.Endo,M.Bunyo,I.Shimizu and J.Hanna: "Early stage in Polycrstalline Growth of Si by Fluoro-oxi-dation of silane" Mat.Res.Soc.Symp.Proc.,. 283. (1994)
K.Endo,M.Bunyo,I.Shimizu and J.Hanna: "Early stage in Polycrstalline Growth of Si by Fluoro-oxi-dation of silane" Mat.Res.Soc.Symp.Proc.,. 283. (1994)
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K.Endo、M.Bunyo、I.Shimizu 和 J.Hanna：“通过硅烷氟氧化作用实现硅多晶生长的早期阶段”Mat.Res.Soc.Symp.Proc.，。
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