ナノエレクトロメカニカル構造を有するシリコンナノ機能デバイス
ナノエレクトロメカニカル構造を有するシリコンナノ機能デバイス
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具有纳米机电结构的硅纳米功能器件
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小田 俊理
中科院分区：
文献类型：
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作者：
水田 博;永見 佑;B.Pruvost;小木 純;百々 信幸;松田 真之助;柴村 純平;土屋 良重;斎藤 慎一;新井 唯;木村 嘉伸;嶋田 壽一;小田 俊理
