M.Hirose: "A New Horizon of Plasma Enhanced CVD for Future Electron Devices" Extended Abstract of the 1992 Intern. Conf. on Solid State Devices and Materials. 13-16 (1992)

M.Hirose: "A New Horizon of Plasma Enhanced CVD for Future Electron Devices" Extended Abstract of the 1992 Intern. Conf. on Solid State Devices and Materials. 13-16 (1992)
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M.Hirose:“未来电子器件的等离子体增强 CVD 的新视野”1992 年实习生的扩展摘要。

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