Alトンネルエッチングにおけるピット位置精密制御と機能化
Alトンネルエッチングにおけるピット位置精密制御と機能化
复制标题
铝隧道蚀刻中的精确凹坑位置控制和功能化
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西尾和之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
益田秀樹;福島達郎;西尾和之
