目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響
目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響
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机械化学砂轮修整条件对单晶硅超精加工性能的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
仲矢 進悟，古城 直道，山口 智実，廣岡 大祐，松森 昇，棚田 憲一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
仲矢 進悟，古城 直道，山口 智実，廣岡 大祐，松森 昇，棚田 憲一
