粗面の散乱を用いた微小欠陥の凹凸識別システム
粗面の散乱を用いた微小欠陥の凹凸識別システム
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利用粗糙表面散射来识别微缺陷不规则性的系统
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田口健治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
有馬秀三朗;杉坂純一郎;田口健治
