大気圧誘導結合型プラズマを局所照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡の開発と表面微細エッチングへの応用
大気圧誘導結合型プラズマを局所照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡の開発と表面微細エッチングへの応用
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局部照射大气压感应耦合等离子体的扫描纳米移液探针显微镜的研制及其在表面微刻蚀中的应用
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
戸田 竣，中澤 謙太，荻野 明久，下村 勝，岩田 太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Riku Kawasaki;Kosuke Kondo;Risako Miura;Keita Yamana;Hinata Isozaki;Shogo Kawamura;Tomoki Nisihimura;Naoki Tarutani;Kiyofumi Katagiri;Shin-ichi Sawada;Yoshihiro Sasaki;Kazunari Akiyoshi;Atsushi Ikeda;戸田 竣，中澤 謙太，荻野 明久，下村 勝，岩田 太
